走出香江
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第254章 规模

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邻,能够早出晚归,你就不要心他的事了。”

还有些事,蔡致良没说,这次是邓英杰出大,算是邓家的产业,要是被廖成凯搅和了,万一被当成蔡致良的授意,可就里外不是了。

由于是下午的飞机,抵达新竹工业园的时候,太阳已经快落山了,却依旧闷热,蔡致良与顾远德便直接去了酒店休息,直到第二天早晨才去了工厂。

走进力微电子,为蔡致良介绍工厂状况的,是技术总监岳天华,原本大学毕业之后就职于工研院,十年前被送到美国rca接受3英寸晶圆厂培训,算是经验丰富。

“现在,全球的晶圆厂都是以蚀刻方式在硅晶圆表面下方挖掘槽形成电容器,你手中的就是一片还未刻蚀过的晶圆。”

蔡致良看看手里的晶圆,是金河德州电子出产的一片废品。

“这是镀保护层的车间,就是用热氧化法在n型si层上制备一层氧化硅层,后边是在氧化保护层基础上,采用化学气相沉积制备一层淡化保护层……”

岳天华介绍的,在蔡致良看来,都是的技术,实在提不起神,主要是这些细节,他都不了解啊。

槽刻蚀技术发展至今,各个厂家有不同的设计方式,我们采用的是德州仪器的ttc技术,另外还有本ntt的ievc,ibm的spt技术……”

蔡致良只能打断岳天华的介绍,道:“岳总监,这具体的技术,你跟顾教授商议便可,我只想知道,目前的良品率是多少?”

岳天华道:“如今刚刚投产,一些制造参数还在调整,目前每月大概可以生产15万个1m的dram存储芯片。”

岳天华只提及产量,至于良品率,却是没提。

蔡致良心里默算,按照岳天华所说的产量,反推回去,却是得出一个难以置信的数字,问道:“那就是说,良品率才一成?”

这可有点严重了,一成的良率,这成本平白就比本高出了八倍,完全抹杀掉了力成本方面的优势。

“这只是刚开始,还需要一段时间的磨合。”廖成凯接道,“德州仪器的技术还需要消化,工虽然已经培训了一段时间,却是刚刚上工,还未能熟练掌握各种技术。我之前就跟你提过,将良率提升到4成以上,不过还得等两到三个月的时间。”

“两三个月……”蔡致良也没有看下去的心,虽然早有准备,但是现实实在是有些残酷,哪怕是两成的良率也好啊。

现实已经很残酷了,蔡致良只能耐着子,将dram的工艺流程巡视了一遍,兴趣缺缺地离开了。

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